Classificazione del substrato di carburo di silicio

In base alle diverse proprietà elettriche, i substrati in carburo di silicio possono essere suddivisi in due tipi: substrati in carburo di silicio semi-isolanti e substrati in carburo di silicio conduttivi. I substrati in carburo di silicio semi-isolanti sono utilizzati principalmente per la fabbricazione di dispositivi a radiofrequenza in nitruro di gallio. Facendo crescere uno strato epitassiale in nitruro di gallio su un substrato in carburo di silicio semi-isolante, si produce un wafer epitassiale in nitruro di gallio a base di carburo di silicio, che può essere ulteriormente utilizzato per la fabbricazione di dispositivi a radiofrequenza in nitruro di gallio. I substrati in carburo di silicio conduttivi sono utilizzati principalmente nella fabbricazione di dispositivi di potenza. Diversamente dal tradizionale processo di fabbricazione di dispositivi di potenza in silicio, i dispositivi di potenza in carburo di silicio non possono essere fabbricati direttamente su substrati in carburo di silicio. È necessario far crescere uno strato epitassiale in carburo di silicio su un substrato conduttivo per ottenere un wafer epitassiale in carburo di silicio e per fabbricare vari tipi di dispositivi di potenza sullo strato epitassiale. dispositivo.