Come vengono suddivisi i gradi dei wafer di silicio?
Mar 19, 2024
Grado di wafer di silicio:
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
La raffinazione avviene attraverso il seguente processo:
Sabbia di quarzo → Silicio di grado metallurgico → Raffinazione e affinazione → Lingotti di silicio policristallino depositati → Silicio monocristallino → Taglio di wafer di silicio.
Silicio di grado metallurgico MG-Si
La materia prima per la raffinazione del silicio è SiO2, che è composta principalmente da sabbia. Attualmente, la roccia cristallina di SiO2, vale a dire il calcare, viene ridotta con carbonio in un grande forno elettrico ad arco: SiO2+2C→Si+2CO
Viene versato regolarmente fuori dalla fornace, purificato con ossigeno e una miscela di gas ossigeno-cloro, quindi versato in un serbatoio poco profondo per solidificarsi e infine ridotto in blocchi.
MG-Si viene purificato in SeG-Si
Il metodo di raffinazione standard è: Siemens.
L'MG-Si viene convertito in composti volatili, che vengono poi condensati e purificati mediante distillazione frazionata.
Procedura del processo: utilizzare HCl per trasformare MG-Si finemente suddiviso in fluido
Utilizzare un catalizzatore per accelerare la reazione: Si+3Hcl→SiHCl3+H2
Materie prime industriali in silicone MG-Si →SiHCl3
Per estrarre il gas misto riscaldabile MG-Si, SiHCl3 viene ridotto da H2 e il silicio viene depositato sulla barra riscaldante elettrica sotto forma di polisilicio a grana fine, come mostrato a destra: SiHCl3+H2 → Si+3HCl
SeG-Si purificato in SoG-Si
Il polisilicio SeG-Si viene fuso e viene aggiunto il drogante in tracce necessario per il dispositivo, solitamente boro (drogante di tipo P).
Grandi barre cilindriche di silicio monocristallino possono essere estratte dal silicio fuso usando cristalli di seme quando la temperatura può essere attentamente controllata. Il diametro supera i 125 cm e la lunghezza è di 1~2 m.




