Dove vengono utilizzati i wafer per la lucidatura dei wafer di silicio?

I wafer lucidati sono il prodotto più ampiamente utilizzato, mentre altri prodotti in wafer di silicio vengono realizzati mediante una lavorazione secondaria basata sui wafer lucidati.
Il wafer lucidato è il wafer di silicio più elementare con la più ampia gamma di applicazioni. I wafer lucidati possono essere utilizzati direttamente per realizzare dispositivi semiconduttori e sono ampiamente utilizzati nei chip di memoria e nei dispositivi di potenza. Possono anche essere utilizzati come materiali di substrato per altri tipi di wafer di silicio come i wafer epitassiali e i wafer di silicio SOI.
Poiché la larghezza caratteristica della linea dei circuiti integrati continua a ridursi e la precisione della fotolitografia diventa sempre più fine, irregolarità estremamente piccole sul wafer di silicio causeranno deformazione e dislocazione del pattern del circuito integrato. La tecnologia di produzione del wafer di silicio sta affrontando requisiti e sfide sempre più elevati. Anche le dimensioni delle particelle e la pulizia della superficie del chip hanno un impatto diretto sulla resa dei prodotti semiconduttori.
Pertanto, il processo di lucidatura è fondamentale per migliorare la planarità e la pulizia della superficie del wafer di silicio. Il principio principale è quello di appiattire la superficie del wafer di silicio semiconduttore e ridurre la ruvidità rimuovendo lo strato danneggiato rimanente sulla superficie lavorata.